佰利乐真空镀膜机采用不同的镀膜工艺,其自动化控制系统也不尽相同,即使是相同的镀膜工艺,由于控制技术指标的不同,所采用的控制系统也不尽相同。微机自动控制系统、自动控制装置、工业自动化仪表、压力控制仪、真空计及某些自动控制元件等一般镀膜设备的基本构成,可以实现对真空镀膜设备的程序自动控制、转换镀膜过程、调整真空工艺参数等基本功能。
对真空镀膜机的控制系统进行选型时,必须能有效地满足真空镀膜设备及其工艺对控制的需要,注意真空镀膜设备的各种构造与自动控制系统的配合,要求自动控制系统结构简单,成本低,自动化程度不一定很高,但必须保证真空镀膜设备安全可靠,使用方便,易于维护。控制系统对自动控制装置及其部件、自动仪表的选择应合理。
负压镀膜是膜体在高温下蒸发到工件表面的结晶。因为空气对蒸发的膜体分子会产生阻力而与之发生碰撞,使得结晶体变得粗糙而无光,因此必须在高真空下使结晶体产生细密光亮,如果真空度不高,结晶体就会失去光泽,结合力也很差。利用磁场,加快中频磁控溅射靶对膜体蒸发的分子进行轰击,溅射出大量的目标原子,使中性目标原子(或分子)沉积在基底上,形成薄膜,解决了以往自然蒸发不能加工的膜体品种。由于高频高电流大,中频设备必须加入冷却水。当电流通过导体的时候,会产生集肤效应,电荷会聚集在导电表面,从而产生发热,因此采用中孔管做导体的中间加水冷却。